单极脉冲电源采用模块化技术设计。这个电源的主要组件是直流电源和脉冲单元，可以产生脉冲输出电压，脉冲频率可调，范围从直流到100kHz。高效的电弧管理系统可针对所有不同的等离子体处理工艺进行调节，以达到恰当的膜层质量，而不会在表面产生任何膜层损坏。

所有脉冲和功率参数都可以通过图形 LCD 面板进行控制和显示。当然，所有参数都可以通过外部计算机，通过RS232接口以及可选的 PROFIBUS 接口进行控制。

MAGPULS UP 型单极脉冲电源专为具有高能等离子体电弧的苛刻工艺而设计。由于功率范围广，适用于以下应用：

• PE-CVD和 PVD 的偏置电源

• 脉冲等离子体氮化

• 磁控溅射